归口单位： 全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位： 上海强华石英有限公司、 久智光电子材料科技有限公司
起草人： 张葆青、 白凤茹
本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
最后更新时间 2025-09-02