现行 SJ/T 11554-2015
用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量 Determination of the metals'concentration of hydrofluoric acid by ICP-OES
发布日期：2015-10-10
实施日期：2016-04-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L90电子元器件与信息技术 - 电子设备与专用材料、零件、结构件 - 电子技术专用材料
ICS分类： 31.030电子学 - 电子技术专用材料
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位： 苏州晶瑞化学有限公司、 同济大学、 工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人： 刘兵、 钱森林、 王洪华

标准简介

本标准规定了采用电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)测定氢氟酸中金属元素的试验方法。本标准适用于电子工业用氢氟酸中痕量金属元素钠(Na)、镁(Mg)、铝(Al)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、钒(V)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、砷(As)、锶(Sr)、银(Ag)、镉(Cd)、锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅(Pb)的测定。本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制

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最后更新时间 2025-09-02