现行 YS/T 1031-2015
化学气相沉积炉 化学气相沉积炉 Chemical vapor deposition furnace
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H91冶金 - 冶金机械设备 - 炼焦、烧结设备
ICS分类： 77.180冶金 - 冶金设备
研制信息

归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

起草单位： 湖南顶立科技有限公司、 中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人： 戴煜、 胡祥龙、 胡高健、 羊建高、 马卫东、 戴晓蕾、 周岳兵、 吴艳华

标准简介

本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。本标准适用于化学气相沉积

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最后更新时间 2025-09-02