现行 SJ/T 11496-2015
红外吸收法测量砷化镓中硼含量 红外吸收法测量砷化镓中硼含量 Determination of boron concentration in gallium arsenide by infrared absorption
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
分类信息
研制信息

归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位: 信息产业专用材料质量监督检验中心、 工业和信息化部电子工业标准化研究院、 苏州晶瑞化学有限公司、 天津中环领先材料技术有限公司

起草人: 李静、 何秀坤、 刘兵、 李翔、 付 雪涛

标准简介

本标准规定了在77K时,用红外吸收法来测定砷化镓(GaAs)中替位硼含量的方法

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最后更新时间 2025-09-02