作废 YS/T 28-2015
硅片包装 硅片包装 Package of silicon wafers
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H80冶金 - 半金属与半导体材料 - 半金属与半导体材料综合
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
研制信息

归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会

起草单位： 杭州海纳半导体有限公司、 有研新材料股份有限公司、 南京国盛电子有限公司

起草人： 王飞尧、 孙燕、 马林宝

标准简介

本标准规定了硅片的包装。本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎

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最后更新时间 2025-09-02