归口单位: 全国压力计量技术委员会
起草单位: 中国计量科学研究院
起草人: 于红燕、 王金库
本规范适用于测量范围在0.1Pa~133 kPa的电容薄膜真空计的校准,其中包括绝压电容薄膜真空计和差压电容薄膜真空计
最后更新时间 2025-09-02