本规范规定了半导体器件动态参数测试系统的计量特性、校准条件和校准方法等要求。适用于集电极/漏极电压≤1000V,脉冲电流≤200A的半导体器件开关参数和栅电荷参数测试系统的校准和使用中的检验
最后更新时间 2025-09-02