现行 SJ/T 11500-2015
碳化硅单晶晶向的测试方法 碳化硅单晶晶向的测试方法 Test method for measuring crystallographic orientation of monocrystalline silicon carbide
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
分类信息
研制信息

归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位: 中国电子科技集团公司第四十六研究所、 工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人: 丁丽、 郝建民、 周智慧

标准简介

本标准规定了利用X射线衍射定向法测定6H、4H等晶型碳化硅单晶晶向的方法

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最后更新时间 2025-09-02