现行 SJ/T 11494-2015
硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法 Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H82冶金 - 半金属与半导体材料 - 元素半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位： 信息产业专用材料质量监督检验中心、 工业和信息化部电子工业标准化研究院、 苏州晶瑞化学有限公司

起草人： 李静、 何秀坤、 刘兵

标准简介

本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法

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最后更新时间 2025-09-02