现行 SJ/T 11487-2015
半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
分类信息
研制信息

归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位: 信息产业专用材料质量监督检验中心、 工业和信息化部电子工业标准化研究院、 苏州晶瑞化学有限公司

起草人: 何秀坤、 董彦辉、 刘兵

标准简介

本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的非接触式测量方法

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最后更新时间 2025-09-02