现行 YS/T 1069-2015
金铍蒸发料 金铍蒸发料 Gold-beryllium alloy evaporation material
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
分类信息
研制信息

归口单位: 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

起草单位: 贵研铂业股份有限公司、 有色金属技术经济研究院

起草人: 谢宏潮、 阳岸恒、 向磊、 朱勇、 朱武勋

标准简介

本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料

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最后更新时间 2025-09-02