现行 JB/T 6922-2015
真空蒸发镀膜设备 真空蒸发镀膜设备 Vacuum evaporation coating plant
发布日期：2015-10-10
实施日期：2016-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-机械
CCS分类： J78机械 - 通用机械与设备 - 真空技术与设备
ICS分类： 23.160流体系统和通用件 - 真空技术
标准简介

本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10-4 Pa～5×10-3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备

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最后更新时间 2025-09-02