归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位: 中国电子科技集团公司第四十六研究所、 工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人: 丁丽、 郝建民、 周智慧
本标准规定了利用拉曼光谱测定碳化硅单晶的结晶类型的方法
最后更新时间 2025-09-02