现行 YS/T 1068-2015
制备钌靶用钌粉 制备钌靶用钌粉 Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
分类信息
研制信息

归口单位: 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

起草单位: 贵研铂业股份有限公司、 有色金属技术经济研究院

起草人: 谭志龙、 郭俊梅、 张俊敏、 向磊、 王传军、 毕珺、 闻明、 管伟明、 陈松、 朱武勋

标准简介

本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)

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最后更新时间 2025-09-02