现行 SJ/T 11504-2015
碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 Test method for measuring surface quality of polished monocrystalline silicon carbide
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
分类信息
研制信息

归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位: 中国电子科技集团公司第四十六研究所、 工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人: 丁丽、 周智慧、 蔺娴

标准简介

本标准规定了碳化硅单晶抛光片表面质量的目视检验方法,观察样品表面的六方孔洞、划痕、凹坑、颗粒、沾污、亮点缺陷、裂纹、崩边的数量并用钢板尺测量划痕的总长度等

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最后更新时间 2025-09-02