现行 SJ/T 11516-2015
薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 Specification for thin film transistor (TFT) mask
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L90电子元器件与信息技术 - 电子设备与专用材料、零件、结构件 - 电子技术专用材料
ICS分类： 31.030电子学 - 电子技术专用材料
研制信息

归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位： 深圳清溢光电股份有限公司、 工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人： 万承华、 张沛、 熊启龙

标准简介

主要技术内容包括：1、产品分类；2、技术要求：包括环境要求、材料要求、外观尺寸要求、图形尺寸要求、外观要求、缺陷要求；3、试验方法；4、检验规则；5、标志、包装、运输和储存

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最后更新时间 2025-09-02