归口单位： 中国电子技术标准化研究院
起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所、 中国电子节能技术协会、 中国电子科技集团公司第五十四研究所
起草人： 张倩、 石少青、 辛士卓、 朱石平、 王丽英、 侯文明、 田伟、 严海若
规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法
最后更新时间 2025-09-02