归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位： 沈阳仪表科学研究院有限公司、 国家仪器仪表元器件质量监督检测中心、 晶能光电(江西)有限公司、 工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人： 张仕卿、 曾艳丽、 刘光恒、 白宇、 马岩、 徐秋玲、 于振毅、 杨路、 白雪峰、 郝鑫、 殷波、 荣宇、 冯亚彬
标准主要内容包括技术要求（包含外观、工作行程、工作精度、主轴精度、工作台精度、开槽宽度、保护功能、噪声、试运行、试划片、可靠性试验和运输试验）、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存
最后更新时间 2025-09-02