归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位: 工业和信息化部电子工业标准化研究院、 国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、 东海县产品质量监督检验所
起草人: 李运强、 栾振祥、 程尚栩
最后更新时间 2025-09-02