现行 SJ/T 31083-2016
真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 Vacuum coating equipment requirements of readiness and methods of inspection assessment
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L01电子元器件与信息技术 - 电子元器件与信息技术综合 - 技术管理
ICS分类： 31.550电子学 - 电子产品生产设备
研制信息

归口单位： 中国电子技术标准化研究院

起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所、 中国电子节能技术协会、 中国电子科技集团公司第五十四研究所

起草人： 彭海涛、 杨红伟、 家秀云

标准简介

规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法

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真空镀膜评定检查方法设备

最后更新时间 2025-09-02