现行 SJ 21102-2016
氮化铝压电薄膜通用规范 氮化铝压电薄膜通用规范 General specification for piezoelectric aluminum nitride films
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L21电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 石英晶体、压电元件
ICS分类： 31.030电子学 - 电子技术专用材料
标准简介

本规范规定了氮化铝(AlN)压电薄膜(以下简称压电薄膜)的通用要求、质量保证规定和交货准备等。本规范适用于层状氮化铝压电薄膜复合材料

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最后更新时间 2025-09-02