现行 SJ 21115-2016
单片旋转显影/清洗机通用规范 单片旋转显影/清洗机通用规范 General specification for single wafer spinning developing & rinsing machine
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备
ICS分类： 31.260电子学 - 光电子学、激光设备
标准简介

本规范规定了单片旋转显影/清洗机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于单片旋转显影/清洗机的设计、生产、检验、验收和订购

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最后更新时间 2025-09-02