现行 SJ 21122-2016
PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范 PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范 Specification for polished mono-crystalline silicon carbide wafers of PVTSiC76SI1-BP01
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H82冶金 - 半金属与半导体材料 - 元素半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本规范规定了PVTSiC76SI1-BPO1型碳化硅单晶抛光片要求、质量保证规定及交货准备等。本规范适用于PUTSiC76SI1-BPO1型碳化硅单晶抛光片(以下简称碳化硅品片)

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最后更新时间 2025-09-02