现行 SJ 21165-2016
MEMS惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求 MEMS惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求
发布日期：
实施日期：2017-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
ICS分类： 31.070电子学 - 敏感元件和传感器
标准简介

本标准规定了MEMS惯性器件制造过程中湿法腐蚀的工艺流程、工艺要求和检验要求。本标准适用于圆片上铝、金、铬、钛、氧化硅等薄膜湿法腐蚀以及硅各向异性湿法腐蚀(以下简称硅湿法腐蚀)的工艺

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最后更新时间 2025-09-02