现行 JJF 1100-2016
平面等厚干涉仪校准规范 平面等厚干涉仪校准规范 Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
发布日期：2016-11-30
实施日期：2017-05-30
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家计量技术规范
CCS分类： A52综合 - 计量 - 长度计量
ICS分类： 17.040计量学和测量、物理现象 - 长度和角度测量
研制信息

归口单位： 全国几何量工程参量计量技术委员会

起草单位： 中国测试技术研究院、 中国计量科学研究院

起草人： 冉庆、 张恒、 赵小萍、 康岩辉

标准简介

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准

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干涉仪校准平面

最后更新时间 2025-09-02