归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位: 湖南省新化县鑫星电子陶瓷有限责任公司、 中国电子材料行业协会真空电子与专用金属材料分会、 国家电子陶瓷质量监督检验中心
起草人: 曹培福、 高陇桥、 曹建平
本标准规定了电子陶瓷材料、已金属化的待封接电子陶瓷或已封接的电真空陶瓷管制品的封接气密性测试原理、测试装置以及测试步骤等内容
最后更新时间 2025-09-02