现行 YS/T 1167-2016
硅单晶腐蚀片 硅单晶腐蚀片 Monocrystalline silicon etched wafers
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H82冶金 - 半金属与半导体材料 - 元素半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
研制信息

归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

起草单位： 天津市环欧半导体材料技术有限公司、 天津中环领先材料技术有限公司、 洛阳鸿泰半导体有限公司、 有研半导体材料有限公司、 杭州海纳半导体有限公司

起草人： 由佰玲、 张雪囡、 蒋建国、 孙燕、 王飞尧、 沈浩平

标准简介

本标准规定了硅单晶腐蚀片的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于直拉法、悬浮区熔法（包括区熔中子嬗变和气相掺杂）制备的硅单晶研磨片经化学腐蚀液去除表面损伤层后制备的酸腐蚀片和碱腐蚀片。产品主要用于制作晶体管、整流管、特大功率晶闸管、光电器件等半导体元器件或进一步加工成硅抛光片

相似标准/计划/法规
GB/T 30868-2014
碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching
2014-07-24
GB/T 12964-2018
硅单晶抛光片
Monocrystalline silicon polished wafers
2018-09-17
GB/T 26069-2022
硅单晶退火片
Annealed monocrystalline silicon wafers
2022-03-09
GB/T 12965-2018
硅单晶切割片和研磨片
Monocrystalline silicon as cut wafers and lapped wafers
2018-09-17
GB/T 29506-2013
300mm 硅单晶抛光片
300mm polished monocrystalline silicon wafers
2013-05-09
GB/T 30656-2023
碳化硅单晶抛光片
Polished monocrystalline silicon carbide wafers
2023-03-17
GB/T 26071-2018
太阳能电池用硅单晶片
Monocrystalline silicon wafers for solar cells
2018-09-17
GB/T 32278-2015
碳化硅单晶片平整度测试方法
Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
2015-12-10
GB/T 30866-2014
碳化硅单晶片直径测试方法
Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
2014-07-24
GB/T 43315-2023
硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法
Test method for flow pattern defects in silicon wafer—Etching technique
2023-11-27
SJ/T 11503-2015
碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
Test methods for measuring surface roughness of polished monocrystalline silicon carbide wafers
2015-04-30
GB/T 31351-2014
碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
2014-12-31
SJ 21441-2018
SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范
Specification for high purity semi-insulating silicon carbide monocrystalline wafers of SiC-HPSI
2018-01-18
GB/T 41325-2022
集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片
Low density crystal originated pit polished monocrystalline silicon wafers for integrated circuit
2022-03-09
GB/T 30867-2014
碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers
2014-07-24
腐蚀单晶

最后更新时间 2025-09-02