归口单位： 全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位： 上海强华石英有限公司
起草人： 高君、 林红斌、 杨军、 吴长明、 周利明、 张葆青、 周文华、 白凤茹
本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、标志、清洗、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟
最后更新时间 2025-09-02