归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位： 有研亿金新材料有限公司、 有色金属技术经济研究院
起草人： 罗俊锋、 万小勇、 向磊、 丁照崇、 李勇军、 何金江、 徐国进、 夏乾坤、 刘晓、 王越
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验
最后更新时间 2025-09-02