归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位： 铜陵中发三佳科技股份有限公司、 铜陵三佳山田科技股份有限公司、 工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人： 丁海生、 陈迎志、 丁宁
标准主要内容包括集成电路自动冲切成型设备的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。技术要求包括外观、安全、保护和报警、自动化功能、性能、和可靠性等
最后更新时间 2025-09-02