归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位: 中国有色金属工业标准计量质量研究所、 瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
起草人: 孟丹、 贺东江、 王海方
本标准规定了太阳能电池用硅片电阻率在线测试的方法,主要内容包括规范性引用文件、术语和定义、方法提要、干扰因素、仪器设备、试样要求、测试环境、仪器校准、测试程序、精密度和试验报告等
最后更新时间 2025-09-02