现行 JJF 1613-2017
掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范 Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
发布日期：2017-02-28
实施日期：2017-05-28
分类信息
发布单位或类别： 中国 国家计量技术规范
CCS分类： A58综合 - 计量 - 电离辐射计量
ICS分类： 17.240计量学和测量、物理现象 - 辐射测量
研制信息

归口单位： 全国新材料与纳米计量技术委员会

起草单位： 中国计量科学研究院

起草人： 任玲玲、 高慧芳

标准简介

本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器(以下简称仪器)的校准

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校准射线反射测量仪器入射

最后更新时间 2025-09-02