归口单位: 全国几何量工程参量计量技术委员会
起草单位: 中国科学院光电技术研究所、 中国测试技术研究院
起草人: 曹学东、 匡龙、 冉庆
本规范适用于0.1μm级行程为0~10mm、0.2μm级行程为0~25mm、0. 5μm级行程为0~50mm、1μm级~10μm级行程为0~100mm的光栅式测微仪校准
最后更新时间 2025-09-02