归口单位： 工业和信息化部电子第四研究院
起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所
起草人： 张佳寅、 杨拥军、 沈路、 李丽霞、 卞玉民、 苏日丽、 卢新艳
本标准规定了MEMS加速度传感器制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及工艺流程、工艺准备和参数标定的详细要求。本标准适用于MEMS加速度传感器制造过程中偏值、标度因数、偏值温度灵敏度、标度因数温度灵敏度和带宽的标定
最后更新时间 2025-09-02