归口单位： 工业和信息化部电子第四研究院
起草单位： 中国电子科技集团公司第二研究所
起草人： 王卫华、 晁宇晴、 赵付超
本规范规定了旋涂及热板设备的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项等内容。本规范适用于旋涂及热板设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收
最后更新时间 2025-09-02