现行 SJ 21320-2018
微组装湿法清洗设备工艺验证方法 微组装湿法清洗设备工艺验证方法 Technological verification methods for wet cleaning system used in micro-assembly industry
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合
ICS分类： 31.240电子学 - 电子设备用机械构件
研制信息

归口单位： 工业和信息化部电子第四研究院

起草单位： 中国电子科技集团公司第二研究所

起草人： 谢振民、 王玉、 晁宇晴

标准简介

本标准规定了微组装湿法清洗设备的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于微组装水基清洗、溶剂清洗等手动、半自动和全自动湿法清洗设备工艺性能的验证

相似标准/计划/法规
湿法组装清洗验证工艺

最后更新时间 2025-09-02