归口单位： 工业和信息化部电子第四研究院
起草单位： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人： 胡凡、 陈特超、 刘欣、 龙长林
本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。本规范适用于离子束溅射镀膜设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收
最后更新时间 2025-09-02