现行 SJ 21258-2018
干法刻蚀设备工艺验证方法 干法刻蚀设备工艺验证方法 Technological verification procedures for dry etching equipment
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合
ICS分类： 31.240电子学 - 电子设备用机械构件
研制信息

归口单位： 工业和信息化部电子第四研究院

起草单位： 中国电子科技集团公司第四十八研究所

起草人： 胡晓宇、 陈特超、 范迎新

标准简介

本标准规定了干法刻蚀设备工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。本标准适用于干法刻蚀设备(以下简称刻蚀设备)的工艺性能的验证

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最后更新时间 2025-09-02