现行 SJ 21259-2018
抛光设备工艺验证方法 抛光设备工艺验证方法 Technological verification procedures for polishing equipment
发布日期:2018-01-18
实施日期:2018-05-01
分类信息
研制信息

归口单位: 工业和信息化部电子第四研究院

起草单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所

起草人: 蒋超、 吕文利、 朱宗树、 刘咸成、 隋红林

标准简介

本标准规定了抛光设备工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于机械抛光、化学抛光、化学机械抛光等平面抛光设备工艺性能的验证

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最后更新时间 2025-09-02