现行 SJ 21475-2018
磷化铟单晶片几何参数测试方法 磷化铟单晶片几何参数测试方法
发布日期：
实施日期：2019-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本标准规定了磷化铟单晶片直径、主、副参考面长度、厚度、总厚度变化、总指示读数、翘曲度、弯曲度等几何参数的测试方法。本标准适用于50mm～150mm磷化铟单晶片几何参数测试

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最后更新时间 2025-09-02