现行 SJ 21478-2018
磷化铟单晶生长工艺技术要求 磷化铟单晶生长工艺技术要求
发布日期：
实施日期：2019-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本标准规定了军用磷化铟单晶生长工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及磷化铟单晶生长工艺的典型工艺流程、各工序技术要求、检验要求等详细要求。本标准适用于液封直拉法(LEC)和垂直梯度凝固法(VGF)磷化铟单晶生长工艺

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最后更新时间 2025-09-02