现行 SJ/Z 21537-2018
半导体集成电路统计过程控制技术实施指南 半导体集成电路统计过程控制技术实施指南
发布日期：
实施日期：2019-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L56电子元器件与信息技术 - 微电路 - 半导体集成电路
ICS分类： 31.200电子学 - 集成电路、微电子学
标准简介

本标准规定了半导体集成电路制造过程实施统计过程控制(SPC)技术的方法、主要步骤和相关技术的应用。本标准适用于半导体集成电路工艺制造过程实施SPC

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最后更新时间 2025-09-02