现行 SJ/Z 21538-2018
混合集成电路统计过程控制技术实施指南 混合集成电路统计过程控制技术实施指南
发布日期：
实施日期：2019-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L56电子元器件与信息技术 - 微电路 - 半导体集成电路
ICS分类： 31.200电子学 - 集成电路、微电子学
标准简介

本标准规定了混合集成电路制造过程实施统计过程控制(statistical process control,以下简称SPC)技术的方法、主要步骤和相关技术的应用。本标准适用于混合集成电路制造过程实施SPC

相似标准/计划/法规
SJ/Z 21537-2018
半导体集成电路统计过程控制技术实施指南
集成电路混合实施指南统计过程控制

最后更新时间 2025-09-02