现行 SJ 21379-2018
电迁移效应测试方法 电迁移效应测试方法 Test method for electromigration effect
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L56电子元器件与信息技术 - 微电路 - 半导体集成电路
ICS分类： 31.200电子学 - 集成电路、微电子学
研制信息

归口单位： 工业和信息化部电子第四研究院

起草单位： 工业和信息化部电子第四研究院、 西安电子科技大学、 中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所、 北京燕东微电子有限公司、 中国电子科技集团公司第二十四研究所、 中国电子科技集团公司第五十八研究所、 勤智数码科技股份有限公司

起草人： 尹航、 贾新章、 薛智民、 王晨杰、 游海龙、 张彦秀、 黄磊、 王志宽、 顾祥、 罗晓羽、 李馄、 廖昕、 赖庆华

标准简介

本标准规定了集成电路铝互连线或铜互连线电迁移效应的测试方法，以及集成电路中铝互连线或铜互连线在正常工作条件下的抗电迁移特性的评价方法。本标准适用于集成电路中铝互连线或铜互连线在正常工作条件下抗电迁移的测试

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最后更新时间 2025-09-02