归口单位： 全国半导体器件标准化技术委员会集成电路分技术委员会
起草单位： 中国电子科技集团公司第五十五研究所、 天水华天科技股份有限公司、 中国电子科技集团公司第五十八研究所
起草人： 侯芳、 郁元卫、 吴昊
本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量，其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆，也可部分贯穿硅晶圆；硅通孔内可含有金属导体及其他介质，也可不包含金属导体及其他介质
最后更新时间 2025-09-02