归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会
起草单位： 内蒙古神舟硅业有限责任公司、 江苏中能硅业科技发展有限公司、 内蒙古盾安光伏科技有限公司、 四川永祥多晶硅有限公司
起草人： 刘淑萍、 宗凤云、 李辉、 赵英杰、 胡议允、 姚利忠、 宋杨
本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.050%～10.00%
最后更新时间 2025-09-02