现行 JC/T 1048-2018
单晶硅生长用石英坩埚 单晶硅生长用石英坩埚
发布日期:2018-10-22
实施日期:2019-04-01
分类信息
标准简介

本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于用高纯石英砂做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚

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最后更新时间 2025-09-02