起草单位： 中国电子技术标准化研究院
起草人： 李洁(中国电子技术标准化研究院)安平(中国合格评定国家认可中心)张珊(中国电子技术标准化研究院)
本规范适用于直流电压:±(lrnV～100V)，直流电阻 1mΩ～100mΩ，频率 1kHz～100MHz的微电子器件测试系统自检模块(以下简称:自检模块)的校准，也适用于具有上述单一功能或组合功能的自检模块的校准如被校自检模块超出该范围可参照该规范执行
最后更新时间 2025-09-02