归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位： 内蒙古盾安光伏科技有限公司、 洛阳中硅高科技有限公司、 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、 宜昌南玻硅材料有限公司、 陕西天宏硅材料有限责任公司、 新特能源股份有限公司
起草人： 齐林喜、 姚利忠、 侯海波、 张艳玲、 折科、 楚东旭、 薛心禄、 刘强、 程远梅、 邱艳梅
本标准规定了氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。本标准适用于氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的测定，3种含碳化合物的测定范围均为0.1 mg/kg～1000 mg/kg
最后更新时间 2025-09-02