现行 YS/T 1301-2019
氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法 Determination of phosphorus oxychloride,phosphorus trichloride in chlorosilanes-Gas chromatography-mass spectrometry method
发布日期：2019-08-02
实施日期：2020-01-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验
研制信息

归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

起草单位： 内蒙古盾安光伏科技有限公司、 洛阳中硅高科技有限公司、 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、 陕西天宏硅材料有限责任公司、 新特能源股份有限公司

起草人： 齐林喜、 姚利忠、 侯海波、 张艳玲、 折科、 楚东旭、 薛心禄、 程远梅、 邱艳梅

标准简介

本标准规定了氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。本标准适用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的测定。氯硅烷中三氯氧磷的测定范围为0.3 μg/kg～100 μg/kg，三氯化磷的测定范围为3 μg/kg～100 μg/kg

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最后更新时间 2025-09-02